ATMALI PLAZMA KATODİK ARK YÖNTEMİ İLE ELDE EDİLEN ZnO İNCE FİLMLERİN OPTİK VE YAPISAL ÖZELLİKLERİ

---

Tezin Türü: Yüksek Lisans

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Çukurova Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Fizik, Türkiye

Tezin Onay Tarihi: 2006

Tezin Dili: Türkçe

Öğrenci: Meryem Derya Özdemir

Asıl Danışman (Eş Danışmanlı Tezler İçin): HAMİDE KAVAK

Açık Arşiv Koleksiyonu: AVESİS Açık Erişim Koleksiyonu

Özet:

ÖZYÜKSEK LİSANSATMALI PLAZMA KATODİK ARK YÖNTEMİ İLE ELDE EDİLEN ZnOİNCE FİLMLERİN OPTİK VE YAPISAL ÖZELLİKLERİMERYEM DERYA ÖZDEMİRÇUKUROVA ÜNİVERSİTESİFEN BİLİMLERİ ENSTİTÜSÜFİZİK ANABİLİM DALIDanışman: Prof. Dr. Hamide KAVAKYıl: 2006, Sayfa: 106Jüri: Prof. Dr. Hamide KAVAKProf. Dr. Ramazan ESENProf. Dr. Birgül YAZICIBu çalışmada Palslı Filtreli Katodik Vakum Ark Depolama yöntemi ile ZnOince filmler oda sıcaklığında cam ve silisyum olmak üzere iki ayrı alttaban üzerineaynı kalınlık farklı basınçlarda ve aynı basınç farklı kalınlıklarda üretildi. Elde edilenfilmlerin optik ve yapısal özelliklerinin kalınlık ve basınç değişiminden nasıletkilendiği araştırıldı.Anahtar Kelimeler: PFCVAD Yöntemi, İnce Film, ZnOIV